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ICP-MS

ICP-MSとは誘導結合プラズマ質量分析法(Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry)の略称です。ICPによってイオン化された原子を質量分析計に導入することで、元素の同定・定量を高感度で分析する装置です。分析はpptレベルで測定が可能です。

当社の電子材料用溶剤はICP-MSを用いて、金属含有量pptオーダーで管理しています。

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