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用途例

設備洗浄用溶剤

レジスト等の半導体材料の製造工程において、極微量の金属成分が製品品質に影響を及ぼすことがあります。製造設備の洗浄にはアセトン等の汎用溶剤が一般的に用いられますが、それらは金属管理されていないため、金属成分が製造設備に混入する一因となります。

当社品EL－メタノールは金属成分をppbオーダーで管理しているため、製造設備への金属混入を防ぐことができます。

また、品質管理が厳しい製品の製造前の設備洗浄溶剤としても適しています。

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